半導體溫控裝置Chiller 主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度準確控制,產品有流體氟化液控溫、氣體冷熱快速溫變、快速溫變卡盤、低溫氣體制冷機、直冷型制冷機組等。冠亞制冷公司在系統中應用多種算法(PID、前饋PID、無模型自建樹算法),實現系統快速響應、較高的控制精度。
1、chiller系列:
chiller系列分為7℃~40℃、-25℃~40℃、-45℃~40℃、30℃~90℃ 變頻 雙路、-80℃~80℃ -100℃~80℃ 復疊制冷、換熱控溫(無壓縮機)(20℃~90℃)等,chiller 的排吸氣溫度(壓力)、冷凝溫度、冷卻水溫度(壓力)、進出液體(氣體)溫度(壓力)、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統進行管理監控記錄。
2、Chiller 氣體降溫(-40℃、-80℃、-100℃):
Chiller 氣體降溫控溫系列將氣體(無腐蝕)降溫使用:如干燥壓縮空氣、氮氣、氬氣等常溫氣體通入到LQ系列設備內部,出來的氣體即可達到目標低溫溫度,供給需求測試的元件或換熱器中。
3、Chiller 直冷型制冷(-40℃、-80℃、-150℃):
Chiller 直冷型制冷將制冷系統中的制冷劑直接輸出蒸發進入目標控制元件(換熱器)換熱,從而使目標控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體(氣體)輸送入換熱器換熱能力更高,這樣特別適用于換熱器換熱面積小,但是換熱量大的運用場所。也可以如氣體捕集運用,將制冷劑直接通入捕集器蒸發,通過捕集器表面冷凝效應,迅速捕集空間中的氣體
4、循環風控溫裝置 AI (-65℃~125℃、-80℃、-105℃):
循環風控溫裝置運用于半導體設備高低溫測試。電子設備高溫低溫恒溫測試冷熱源,可連續長時間工作,自動除霜,除霜過程不影響庫溫,模塊化設計,備用機替換容易(只要一臺備用機組即可),構筑一套高低溫恒溫室變的簡單(根據提供的圖紙,像搭積木一般拼接好箱體,連接好電和水,設定好溫度即可工作)
5、射流高低溫沖擊測試機 AES(-45℃、-60℃、-80℃、-100℃、-115℃~225℃):
射流式高低溫沖擊測試機給芯片、模塊、集成電路板、電子元器件等提供準確且快速的環境溫度。是對產品電性能測試、失效分析可靠性評估的儀器設備。
6、快速溫變控溫卡盤MD (-75℃~225℃):
快速溫變控溫卡盤產品可以實現快速溫度變化,準確控制溫度,提供開放的表面平整工作平臺,快速升降溫、恒溫控制,運用于RF器件和高密度功率器件測試,也可以運用于實驗室平板快速冷卻等
7、廢氣冷凝回收裝置 (-35℃、-75℃):
廢氣冷凝回收裝置應用于氣體冷凝液化回收。將廢氣或其他電子氣體通過引風機(真空泵)接入到設備,通過降低溫度液化捕集分離到收集罐中,其他氣體排放,從而實現氣體的冷凝捕集回收。
8、液冷CDU分配控制單元 ZLFQ系列:
液冷CDU分配控制單元 ZLFQ系列適用于半導體測試,電子設備恒溫測試,冷卻服務器配套基礎設施,及其他流體控溫場所。是具備獨立的換熱系統、供電系統和監控系統的模塊化智能設備。