隨著半導體工藝向高集成度、多元化應用發展,單一溫控模式不能滿足復雜場景需求。多通道獨立控溫Chiller通過創新技術架構,實現同一設備內不同通道的溫度獨立控制,為半導體生產測試環節提供溫控解決方案。
一、多通道獨立控溫Chiller的應用必要性
半導體產業鏈涵蓋芯片制造、器件封裝、性能測試等多個環節,各環節對溫度的需求存在差異。存儲芯片測試需模擬高低溫循環場景,而電子器件封裝可能需要恒溫環境保障工藝穩定。傳統單通道溫控設備無法同時處理多種溫度需求,導致測試效率低下。多通道獨立控溫 Chiller 則可針對不同測試單元或生產模塊,單獨設定溫度參數,支持并行作業,既滿足多樣化溫控需求,又提升設備利用率。
二、多通道獨立控溫的技術實現路徑
1、硬件架構創新
多通道獨立控溫Chiller采用模塊化設計,每個通道配備獨立的循環系統與換熱組件。以直冷型Chiller為例,其制冷劑輸出系統可針對性地為不同目標單元換熱,確保各通道溫度互不干擾。
2、控制系統升級
多通道獨立控溫Chiller實現對各通道溫度的調控。每個通道的溫度參數可獨立設置、實時監控,滿足不同半導體工藝對溫度精度的嚴苛要求。同時,操作界面支持多通道溫度曲線同步顯示與數據導出。
三、多通道獨立控溫 Chiller 的典型應用場景
1、在存儲芯片可靠性測試中,需同時對多個芯片樣本進行高低溫循環測試。多通道獨立控溫Chiller可針對不同芯片型號,設置差異化的溫度循環方案,各通道獨立運行,模擬芯片實際應用中的溫度應力,快速篩選出性能不穩定的產品。
2、半導體器件封裝、鍍膜等生產環節對溫度要求各異。多通道獨立控溫 Chiller 可同時為不同生產線提供適配的溫度環境,實現同一設備支撐多元生產場景。
多通道獨立控溫Chiller通過整合溫控技術與靈活架構設計,提升半導體生產測試的效率與精度。隨著半導體工藝的不斷進步和應用場景的日益復雜化,多通道獨立控溫Chiller將成為半導體行業溫控領域的重要力量。